夏普(HIRANO Yasuakie 等人)开发了这项技术。
如下面的幻灯片所示,第一个纯蓝色 uLED 是在蓝宝石基板上形成的。此处,一个 LED 阵列包含 352 x 198 个尺寸为 24 um x 8 um 的微型 LED 芯片。并行地,包含驱动电路的LSI芯片形成在硅晶片上。此处,为每个微型 LED 晶粒制造阴极(N 型电极)和阳极(P 型电极),以向每个晶粒独立施加驱动电压。根据 LED 管芯的间距制造 Au 凸点电极。两个基板使用 Au-Au 键合进行倒装芯片键合。在这里,人们已经可以看到与硅和光电子行业的平行(相对于传统的薄膜显示行业!)。接下来,通过激光剥离去除蓝宝石层。最后,无镉量子点(绿色和红色)沉积在 microLED 芯片顶部,以实现 RG 颜色转换。
器件架构如幻灯片 2 所示 - 此处可以看到 GaN uLED 芯片、Au 凸块以及光屏蔽墙和量子点 (QD) 的位置。这样,就形成了全彩色 1,053 ppi 显示屏。